中科艾尔(北京)科技有限公司

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公司创始人 20 年以来,始终专注于半导体超高纯管阀件研发、制造和销售的一站式服务,公司已经快速成长为打破国际垄断,服务“天宫”工程,达到规模化量产的小巨人型企业,是专业的国产半导体级超高纯气路零配件的研发、生产企业。

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精选产品

Uα-1B 气体减压器

  产品介绍

Uα-1B 气体减压器专为超高纯气体,半导体级工艺气体设计,满足超大规模集成电路的使用要求。  

  主要部件材料

阀体:316L(VIM+VAR)

膜片:UNS N06022

阀针:316L(VIM+VAR)/ UNS N10276

密封垫:PCTFE / PI

手柄:ABS

阀盖:316L

工作条件

进口压力:300psig

出口压力:-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig

原压变动:1.3psig / 100psig

工作温度:-10 ~ 60℃

内漏率:≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率:≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

流量系数:1.1

内表面粗糙度:Ra ≤ 0.1μm

产品特点

适用于: VMB、VMP

提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项

每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测

内部无弹簧,内部死体积小,减少了颗粒物的存留

束缚膜片结构,增加安全性

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