Uα-1B 气体减压器
产品介绍
Uα-1B 气体减压器专为超高纯气体，半导体级工艺气体设计，满足超大规模集成电路的使用要求。
主要部件材料
阀体：316L（VIM+VAR）
膜片：UNS N06022
阀针：316L（VIM+VAR）/ UNS N10276
密封垫：PCTFE / PI
手柄：ABS
阀盖：316L
工作条件
进口压力：300psig
出口压力：-25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig
原压变动：1.3psig / 100psig
工作温度：-10 ～ 60℃
内漏率：≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率：≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
流量系数：1.1
内表面粗糙度：Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于： VMB、VMP
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
内部无弹簧，内部死体积小，减少了颗粒物的存留
束缚膜片结构，增加安全性
